Piteşti | Biblioteca Universităţii |

Limba:
Română
- English

Tehnologia structurilor micromecanice

Tipul înregistrării:	Text tipărit: monografic
Autor:	Antonescu, Simona, inginer
Autor alternativ:	Ionaşcu, Georgeta
Autor alternativ:	Pîrcălăboiu, Adina
Selectator/Antologator/Redactor:	Buzatu, Vasile
Responsabilitate:	Dr. ing. Simona Antonescu
Responsabilitate secundară:	Georgeta Ionaşcu Adina Pîrcălăboiu
Editura:	Editura Tehnică
Locul publicării:	Bucureşti
Anul Ediției:	1995
ISBN:	973-31-0711-5
Descriere:	148 p; 24 cm
Note:	Bibliogr. la p. 147-148
Limba:	Română
Subiect:	Chimia fenomenelor de suprafaţă şi a coloizilor
Subiect:	Mecanisme şi instrumente de precizie. Mecanică de precizie. Mecanică fină
Subiect:	Ştiinţa şi tehnologia calculatoarelor. Prelucrarea datelor
Subiect:	Tehnica reglării şi comenzii automate. Sisteme, metode şi echipamente de reglare. Tehnică cibernetică şi automatică
Cota topografică:	681.5 / A 63
Clasificare:	681.5
Clasificare:	544.7
Note conţinut (cuprins):	1. Introducere. - p. 7
Note conţinut (cuprins):	2. Prelucrarea substraturilor. - p. 11
Note conţinut (cuprins):	3. Prepararea straturilor subţiri din componenţa structurilor micromecanice. - p. 17
Note conţinut (cuprins):	4. Configurarea straturilor subţiri. - p. 47
Note conţinut (cuprins):	5. Litografia. - p. 65
Note conţinut (cuprins):	6. Microprelucrarea siliiciului monocristalin. - p. 93
Note conţinut (cuprins):	7. Microprelucrarea siliiciului policristalin. - p. 113
Note conţinut (cuprins):	8. Procedeul LIGA. - p. 129

681.5 / A 63
ANTONESCU, Simona, inginer; IONAŞCU, Georgeta; PÎRCĂLĂBOIU, Adina

Tehnologia structurilor micromecanice [*Carte tipărită] / Dr. ing. Simona Antonescu; Georgeta Ionaşcu; Adina Pîrcălăboiu.- Bucureşti : Editura Tehnică, 1995
148 p ; 24 cm.
Bibliogr. la p. 147-148
1. Introducere. - p. 7.
2. Prelucrarea substraturilor. - p. 11.
3. Prepararea straturilor subţiri din componenţa structurilor micromecanice. - p. 17.
4. Configurarea straturilor subţiri. - p. 47.
5. Litografia. - p. 65.
6. Microprelucrarea siliiciului monocristalin. - p. 93.
7. Microprelucrarea siliiciului policristalin. - p. 113.
8. Procedeul LIGA. - p. 129.
ISBN: 973-31-0711-5: 0.20

ANTONESCU, Simona, inginer
Ionaşcu, Georgeta
Pîrcălăboiu, Adina

681.5
544.7
Chimia fenomenelor de suprafaţă şi a coloizilor Mecanisme şi instrumente de precizie. Mecanică de precizie. Mecanică fină Ştiinţa şi tehnologia calculatoarelor. Prelucrarea datelor Tehnica reglării şi comenzii automate. Sisteme, metode şi echipamente de reglare. Tehnică cibernetică şi automatică

LDR:01161nam 2200289 001 61180
009 ubfixit050.016 Tehnologia structurilor micromecanice\\ ANTONESCU, Simona\
010 $a 973-31-0711-5 $d 0.20
100 $a 20141203d $a 27022003u m u0rumy50 ba
101 0 $a rum
200 0 $a Tehnologia structurilor micromecanice $f Dr. ing. Simona Antonescu $g Georgeta Ionaşcu $g Adina Pîrcălăboiu $b *Carte tipărită
210 # # $a Bucureşti $L s3311 $c Editura Tehnică $d 1995
215 $a 148 p $d 24 cm
300 $a Bibliogr. la p. 147-148
327 # # $a 1. Introducere. - p. 7
327 # # $a 2. Prelucrarea substraturilor. - p. 11
327 # # $a 3. Prepararea straturilor subţiri din componenţa structurilor micromecanice. - p. 17
327 # # $a 4. Configurarea straturilor subţiri. - p. 47
327 # # $a 5. Litografia. - p. 65
327 # # $a 6. Microprelucrarea siliiciului monocristalin. - p. 93
327 # # $a 7. Microprelucrarea siliiciului policristalin. - p. 113
327 # # $a 8. Procedeul LIGA. - p. 129
606 $3 100404 $a Chimia fenomenelor de suprafaţă şi a coloizilor
606 $3 90740 $a Mecanisme şi instrumente de precizie. Mecanică de precizie. Mecanică fină
606 $3 90318 $a Ştiinţa şi tehnologia calculatoarelor. Prelucrarea datelor
606 $3 90736 $a Tehnica reglării şi comenzii automate. Sisteme, metode şi echipamente de reglare. Tehnică cibernetică şi automatică
675 $a 681.5
675 $a 544.7
679 $a 681 $d 62/64; 66/69
700 0 $3 2457 $8 rumrum $a Antonescu $b Simona $c inginer
701 $3 39233 $a Ionaşcu $b Georgeta
701 $3 62535 $a Pîrcălăboiu $b Adina
702 0 $3 12073 $4 220 $8 rumrum $a Buzatu $b Vasile
801 0 $a RO $b UPIT $c 20141202 $g unimarc
850 $a UPIT
852 # # $j 681.5 / A 63